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深紫外光刻投影物镜温度特性研究 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 276-285
作者:  姚长呈;  巩岩
caj(1486Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：366/139  |  提交时间：2017/09/17
光学制造  光刻投影物镜  温度分布模型  仿真分析  热像差  
光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 261-268
作者:  姚长呈;  巩岩
caj(1449Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：286/138  |  提交时间：2017/09/17
光学设计  主动光学  光刻物镜  热像差补偿  像散  
光刻投影物镜恒温水套小比例模型的设计与性能测试 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 8, 页码: 146-151
作者:  彭海峰;  于新峰;  秦硕
caj(1581Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：396/121  |  提交时间：2017/09/17
测量  投影物镜  恒温水套  热像差  温度测试