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软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2810-2816
作者:  陈家华;  龚学鹏;  薛松;  卢启鹏;  彭忠琦;  宋源;  王依
caj(440Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：479/125  |  提交时间：2018/04/09
同步辐射  光发射电子显微镜(Peem)  X射线显微镜  Kb镜  结构设计  
极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者:  宋源;  卢启鹏;  龚学鹏;  王依;  彭忠琦
caj(411Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：416/135  |  提交时间：2018/04/09
极紫外光刻机  碳污染  清洗技术  多层膜反射镜  
基于最大内角的三角形星图识别算法 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 208-216
作者:  张同双;  郭敬明;  柏杨;  刘冰;  周海渊;  王二建;  张世学
caj(460Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：363/137  |  提交时间：2018/04/09
星敏感器  星图识别  三角形算法  特征三角形