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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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邓文渊 [2]
金春水 [2]
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颜昌翔 [1]
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文献类型
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WOS被引频次升序
WOS被引频次降序
星载气溶胶被动光学遥感仪器:进展与未来展望
期刊论文
光学学报, 2022, 卷号: 42, 期号: 17, 页码: 38-53
作者:
丁宁
;
于博
;
颜昌翔
;
李文杰
;
鞠学平
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提交时间:2023/05/18
Mo/Si原子高能量沉积中反射和再溅射的研究
期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 11, 页码: 46-53
作者:
孙诗壮
;
金春水
;
喻波
;
郭涛
;
姚舜
;
李春
;
邓文渊
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提交时间:2021/07/06
原子与分子物理学
分子动力学
反射
再溅射
Mo/Si原子
角度分布
能量分布
Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究
期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:
孙诗壮
;
金春水
;
喻波
;
郭涛
;
姚舜
;
李春
;
邓文渊
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提交时间:2021/07/06
薄膜
Mo/Si多层膜
极紫外光刻
磁控溅射
表面粗糙度
功率谱密度
极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用
期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150
作者:
王君
;
金春水
;
王丽萍
;
郭本银
;
喻波
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提交时间:2015/04/17
成像系统
光学设计
极紫外光刻
等效工作界面
多层膜
能量守恒
极紫外光辐照下表面碳沉积污染的计算模型
期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 5, 页码: 299-305
作者:
王珣
;
金春水
;
匡尚奇
;
喻波
;
金方圆
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提交时间:2015/04/17
薄膜
极紫外光刻
碳沉积模型
迭代法
提高极紫外光谱纯度的多层膜设计及制备
期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 10, 页码: 289-294
作者:
祝文秀
;
金春水
;
匡尚奇
;
喻波
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提交时间:2013/03/11
薄膜
多层膜
光谱纯度
极紫外