中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助

限定条件            
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 302-310
作者:  东立剑;  崔庆龙;  李朋志;  赵磊
caj(3959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：341/88  |  提交时间：2018/04/09
光学设计  光刻物镜  热像差  主动光学  像散  响应函数  
利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 228-233
作者:  赵阳;  王平;  赵磊;  刘春来;  华洋洋;  门树东
caj(356Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：338/112  |  提交时间：2015/04/17
几何光学  复杂系统装调  补偿量选择  奇异值分解  失调量向量  补偿量相关性