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浸没式光刻投影物镜光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 05, 页码: 745-764
作者:  毕丹丹;  张立超;  时光
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浸没式光刻  光学薄膜  膜系设计  环境适应性  激光辐照寿命  
大相对孔径紫外成像仪光学系统设计 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 02, 页码: 212-218
作者:  崔穆涵;  田志辉;  周跃;  章明朝;  陈雪;  李佳起;  易翔宇
收藏  |  浏览/下载：190/0  |  提交时间：2019/09/17
电晕探测  紫外成像仪  光学系统  大孔径  消色差  
微分干涉差共焦显微膜层微结构缺陷探测系统 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 02, 页码: 255-264
作者:  戴岑;  巩岩;  张昊;  李佃蒙;  薛金来
收藏  |  浏览/下载：205/0  |  提交时间：2019/09/17
共焦显微  微分干涉差  标量衍射  膜层结构  缺陷探测  
激光位移传感器传感探头微小型光学系统设计 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 06, 页码: 1001-1010
作者:  张爽;  朱万彬;  李健;  鲁秀娥
收藏  |  浏览/下载：231/0  |  提交时间：2019/09/17
微小型光学系统  ZEMAX  光斑质量