Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 激光位移传感器传感探头微小型光学系统设计 | |
张爽; 朱万彬 ; 李健; 鲁秀娥
| |
| 2018 | |
| 发表期刊 | 中国光学
 |
| 期号 | 06页码:1001-1010 |
| 摘要 | 光斑质量直接影响激光位移传感器测量的精度。为了提高激光位移传感器传感探头光学系统的成像质量,设计了传感探头四片式微小型光学系统。本文在理想成像基础上,分析光束在光学系统中能量传递的变化规律,对比光电探测器的感光能力,利用光学设计软件(ZEMAX)实现了激光位移传感器传感探头微小型光学系统的设计。通过理论计算分析,严格控制传感探头孔径光阑的大小,对光学系统进行优化处理,成像最大弥散斑半径低于3. 3μm,空间分辨率120lp/mm以下的传递函数MTF(Modulation Transfer Function)值大于0. 5,光线扇形图的最大像差小于5μm,畸变量低于0. 1859%。该光学系统具有良好的成像效果,可以满足激光位移传感器探测系统对成像系统成像光斑质量的要求,以保证传感器的测量精确度优于5μm。 |
| 关键词 | 微小型光学系统 ZEMAX 光斑质量 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/61406 |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张爽,朱万彬,李健,等. 激光位移传感器传感探头微小型光学系统设计[J]. 中国光学,2018(06):1001-1010. |
| APA | 张爽,朱万彬,李健,&鲁秀娥.(2018).激光位移传感器传感探头微小型光学系统设计.中国光学(06),1001-1010. |
| MLA | 张爽,et al."激光位移传感器传感探头微小型光学系统设计".中国光学 .06(2018):1001-1010. |
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