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基于空间机构学的Coude光路装调方法 期刊论文
红外与激光工程, 2017, 页码: 164-170
作者:  张丽敏;  韩西达;  曹玉岩;  王文攀
caj(722Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：363/116  |  提交时间：2018/04/09
Coude光路  蒙特卡洛  计算机辅助装调技术  
Design and experiment of active compensation system for thermal aberration of lithographic lens 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 3
作者:  Dong, L.;  Q. Cui;  P. Li and L. Zhao
浏览  |  Adobe PDF(4130Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：362/117  |  提交时间：2018/06/13
Coude light path alignment scheme with spatial mechanism 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2017, 卷号: 46, 期号: 8
作者:  Zhang, L.;  X. Han;  Y. Cao and W. Wang
浏览  |  Adobe PDF(859Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：356/114  |  提交时间：2018/06/13
R-C光学系统的计算机辅助装调 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 3, 页码: 183-188
作者:  刘波;  丁亚林;  贾继强;  苏东风;  张雷
caj(439Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：290/100  |  提交时间：2017/09/17
R-c光学系统  计算机辅助装调  Zernike系数  波像差  
Optical design of high-numerical aperture lithographic lenses 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 4
作者:  Xu, M.-F.;  W.-B. Pang;  X.-R. Xu;  X.-H. Wang and W. Huang
浏览  |  Adobe PDF(487Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：329/92  |  提交时间：2017/09/11
Computer aided alignment of R-C optical system 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2016, 卷号: 45, 期号: 3
作者:  Liu, B.;  Y. Ding;  J. Jia;  D. Su and L. Zhang
Adobe PDF(557Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：314/92  |  提交时间：2017/09/11
Realizing assisted alignment of three-mirror reflecting optical system by using wavefront sensing test results of phase diversity 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 7
作者:  Cheng, Q. and D. Xue
Adobe PDF(536Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：330/111  |  提交时间：2017/09/11
Coaxial and off-axial hybrid three-mirror optical system with long focal length 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 4
作者:  Chen, Z.;  X. Zhang;  C. Chen and J. Ren
Adobe PDF(1356Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：309/104  |  提交时间：2017/09/11
微缩投影系统的计算机辅助装调 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2103-2108
作者:  谢耀;  于杰;  王丽萍;  王辉;  周烽
caj(208Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：402/116  |  提交时间：2015/04/17
微缩投影系统  集成装调  计算机辅助装调  敏感度矩阵  奇异值分解  
投影光刻物镜的计算机辅助装调 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 6, 页码: 206-211
作者:  赵菲菲;  唐剑宇;  黄玮;  许伟才
caj(292Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：305/110  |  提交时间：2015/04/17
光学设计  计算机辅助装调  投影光刻物镜  奇异值分解  畸变