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| 投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 赵磊
 caj(8435Kb) |  收藏 | 浏览/下载：239/0 | 提交时间：2020/08/24
投影光刻物镜 像质补偿技术 柔顺微动机构 主动变形镜 |
| 离轴四反系统的计算机辅助装调技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 于鑫
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计算机辅助装调 离轴三反 离轴四反 逆向优化 泽尼克 评价
函数 |
| 含自由曲面反射望远系统装调研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 王钰
Adobe PDF(3417Kb) | 收藏 | 浏览/下载：286/3 | 提交时间：2015/05/03
自由曲面 计算机辅助装调 矢量波像差理论 人工神经网络 |
| 超宽覆盖空间相机结构设计与优化 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 李畅
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| 激光扩束系统的结构失调分析、优化和变倍技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 贾勇
Adobe PDF(3796Kb) | 收藏 | 浏览/下载：269/2 | 提交时间：2014/08/21 |
| 基于镜面间隔和中心偏差测量的光学镜头辅助装调设备的研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 郭帮辉
Adobe PDF(3271Kb) | 收藏 | 浏览/下载：615/2 | 提交时间：2014/08/21 |
| 极紫外多层膜光学元件表面污染研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 鹿国庆
Adobe PDF(1786Kb) | 收藏 | 浏览/下载：490/1 | 提交时间：2014/08/21 |
| 自由曲面表征函数及其应用研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 王超
Adobe PDF(5325Kb) | 收藏 | 浏览/下载：576/3 | 提交时间：2014/08/21 |
| 多波段激光发射方向直接监测与校正方法研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 周子云
Adobe PDF(4500Kb) | 收藏 | 浏览/下载：340/2 | 提交时间：2014/08/21 |
| S-H波前传感器在计算机辅助装调中的应用研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 赵菲菲
Adobe PDF(2200Kb) | 收藏 | 浏览/下载：422/1 | 提交时间：2014/03/15
计算机辅助装调 S-h波前传感器 投影光刻物镜 质心探测精度 阈值选取 |
