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狭缝柔性结构的光学元件超精密调节机构研究 期刊论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6
作者:  董世则
收藏  |  浏览/下载：239/0  |  提交时间：2017/09/17
狭缝柔性结构  光刻物镜  调节机构  导向精度  精度测试  
Online detection of profile deviation for nano precision 2-D stage mirror 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 9
作者:  Liu, Z.-W.;  W.-H. Li;  J.-K. Wang;  S. Jiang;  Y. Song;  M.-Z. Pan and Bayanheshig
浏览  |  Adobe PDF(624Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：318/97  |  提交时间：2017/09/11
Optical design of high-numerical aperture lithographic lenses 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 4
作者:  Xu, M.-F.;  W.-B. Pang;  X.-R. Xu;  X.-H. Wang and W. Huang
浏览  |  Adobe PDF(487Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：322/87  |  提交时间：2017/09/11
Compensation effect of radial preload on mirror deformation caused by gravity 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 4
作者:  Jia, S.;  W. Huang;  X. Xu and C. Yao
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Sub-nanometer precision optical fabrication of CaF2materials 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 11
作者:  Zhang, C.-L.;  L. Xu;  J. Liu;  Z.-L. Ma;  F. Wang;  Y.-Q. Gu;  L. Dai and S.-J. Peng
浏览  |  Adobe PDF(752Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：405/114  |  提交时间：2017/09/11
Effect of alignment errors of reticle on distortion in lithographic projection lens 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 3
作者:  Yang, W.;  W. Huang and H.-B. Shang
浏览  |  Adobe PDF(1721Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：293/84  |  提交时间：2017/09/11
Research on temperature distribution of deep ultraviolet lithographic projection objective 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 5
作者:  Yao, C. and Y. Gong
浏览  |  Adobe PDF(8729Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：290/113  |  提交时间：2017/09/11
Research on deformation and aberration of active plate used in lithographic objective 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 4
作者:  Yao, C. and Y. Gong
浏览  |  Adobe PDF(1605Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：238/49  |  提交时间：2017/09/11
Forward kinematics of 3-RRR flexure parallel mechanism used in lens micro-adjustment 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 6
作者:  Zhao, L.;  C. Liang;  D.-F. Zhang;  L.-J. Dong and H.-F. Peng
浏览  |  Adobe PDF(762Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：314/79  |  提交时间：2017/09/11