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气囊抛光过程的运动精度控制 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 08, 页码: 2220-2228
作者:  王飞;  张健;  彭利荣;  王高文;  隋永新
caj(342Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：356/132  |  提交时间：2016/07/06
光学加工  气囊抛光  运动精度  球面抛光  平面抛光  
深紫外光刻光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2015, 期号: 02, 页码: 169-181
作者:  张立超;  才玺坤;  时光
caj(474Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：289/146  |  提交时间：2016/07/06
深紫外光刻  超精密光学  膜系设计  光学性能保障  环境适应性  
Compliance analysis for thinned right-circular flexure hinge with three degrees of freedom 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2015, 卷号: 23, 页码: 425-431
作者:  Guo, K.;  M.-Y. Ni;  Z. Sun;  H.-N. Chen and D.-P. Wang
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Absolute testing of interferometer wavefront using cat's-eye test 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 12
作者:  Su, D.;  E. Miao;  Y. Qu and Y. Sui
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