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电磁驱动柔顺微定位平台闭环频域逆迭代学习控制 期刊论文
光学精密工程, 2021, 卷号: 29, 期号: 09, 页码: 2149-2157
作者:  张旭;  赖磊捷;  李朋志;  朱利民
Adobe PDF(1955Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：203/63  |  提交时间：2022/06/29
预置曲率研磨盘提高行星研磨技术去除函数稳定性 期刊论文
光学精密工程, 2021, 卷号: 29, 期号: 07, 页码: 1620-1630
作者:  海阔;  曾雪锋;  李锐钢;  李英杰;  李龙响;  张学军
浏览  |  Adobe PDF(2044Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：227/59  |  提交时间：2022/06/29
利用正交位移测量系统进行六自由度并联机构参数标定 期刊论文
光学精密工程, 2021, 卷号: 29, 期号: 02, 页码: 316-328
作者:  杨利伟;  鲍赫;  樊延超;  李志来;  董得义
浏览  |  Adobe PDF(2205Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：250/50  |  提交时间：2022/06/29
气囊抛光过程的运动精度控制 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 08, 页码: 2220-2228
作者:  王飞;  张健;  彭利荣;  王高文;  隋永新
caj(342Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：356/132  |  提交时间：2016/07/06
光学加工  气囊抛光  运动精度  球面抛光  平面抛光  
均压槽对空气静压轴承微振动的影响 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 12, 页码: 3354-3359
作者:  陈琦;  陈斌;  蔡黎明
caj(291Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：449/134  |  提交时间：2015/04/17
空气静压轴承  均压槽  微振动  
基于动态模糊系统模型的压电陶瓷驱动器控制 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 02, 页码: 394-399
作者:  李朋志;  葛川;  苏志德;  闫丰;  隋永新;  杨怀江
caj(1254Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：358/109  |  提交时间：2014/03/07
压电陶瓷驱动器(Pzt)  迟滞  动态模糊系统  前馈  轨迹跟踪  
超精密渐开线齿形的测量方法 期刊论文
光学精密工程, 2006, 期号: 6
作者:  王立鼎;  娄志峰;  王晓东;  马勇;  张玉玲
caj(340Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：369/112  |  提交时间：2012/09/25
精密齿轮  渐开线齿形  测量原理  双盘式测量仪  
定偏心锡磨盘超精密平面抛光均匀去除模拟计算(Ⅰ) 期刊论文
光学精密工程, 1998, 期号: 02, 页码: 78-83
作者:  张红霞;  高宏刚;  吴明根
caj(65Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：492/79  |  提交时间：2013/03/11
锡  抛光  超精密加工  平面  
GaN 用衬底材料 LiGaO_2 晶体超精密抛光的初步实验 期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 05, 页码: 58-63
作者:  谢伦;  高宏刚;  陈斌;  曹健林;  王建明;  刘琳
caj(81Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：397/74  |  提交时间：2013/03/11
超精密抛光  表面粗糙度  聚氨酯  Ligao_2  Sio_2  
超精密金刚石刀具──衍射光栅刻划刀 期刊论文
光学精密工程, 1996, 期号: 03, 页码: 81-84
作者:  李英海
caj(132Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：524/58  |  提交时间：2013/03/12
金刚石刀具  衍射光栅