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极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备 期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:  匡尚奇;  李硕;  杨海贵;  霍同林;  周洪军
收藏  |  浏览/下载：173/0  |  提交时间：2019/09/17
多层膜设计  极紫外  离散化设计  宽带多层膜  
改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056
作者:  匡尚奇;  张超;  王一名;  周祥燕;  谢耀
caj(654Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：401/122  |  提交时间：2018/04/09
薄膜光学  多层膜设计  改进型量子进化算法  宽带极紫外多层膜  
工作波长短于10nm的软X射线多层膜 期刊论文
光学精密工程, 1996, 期号: 02, 页码: 19-24
作者:  吕俊霞;  马月英;  张俊平;  王占山;  曹健林
caj(242Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：402/62  |  提交时间：2013/03/11
软x射线  多层膜反射镜  正入射  膜系设计和模拟计算