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电磁驱动柔顺微定位平台闭环频域逆迭代学习控制 期刊论文
光学精密工程, 2021, 卷号: 29, 期号: 09, 页码: 2149-2157
作者:  张旭;  赖磊捷;  李朋志;  朱利民
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曲率半径的高精度测量及其不确定度 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 10, 页码: 2495-2501
作者:  田志辉;  史振广;  刘伟奇;  杨怀江;  隋永新
caj(392Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：553/183  |  提交时间：2014/03/07
光学元件  曲率半径测量  不确定度分析  计算全息  波长移相  
6-PSS型光学元件精密轴向调节机构 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 10, 页码: 2648-2655
作者:  郭抗;  巩岩
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光刻物镜  光学元件  调节机构  并联机构  一体化结构  6-pss  
最小节拍组合控制方法在光电跟踪系统中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 10, 页码: 2594-2602
作者:  郭劲;  王卫兵;  陈娟;  王挺峰;  姜振华
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光电跟踪系统  最小节拍组合控制  仿真测试  实验测试  阶跃响应  
基于运动学支撑的透镜光学表面面形及其复现性 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 08, 页码: 2000-2007
作者:  于新峰;  巩岩;  倪明阳;  秦硕
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投影物镜  运动学支撑结构  光学表面面形  夹持力  复现性  有限元法  Zernike多项式  
应用光程校正空间法提升近红外无创生化分析模型性能 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 08, 页码: 1974-1980
作者:  高洪智;  卢启鹏;  丁海泉;  陈思唯
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近红外光谱  无创生化分析  光程校正空间  净信号分析  
用计算全息图校正非球面的畸变 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 08, 页码: 1929-1935
作者:  高松涛;  王高文;  张健;  隋永新;  杨怀江
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非球面检测  畸变校正  干涉仪  计算全息图  
超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 07, 页码: 1741-1747
作者:  高飒飒;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
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X射线干涉光刻光束线  精密狭缝  四刀结构  重复精度  有限元分析  
光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 06, 页码: 1425-1433
作者:  赵磊;  巩岩;  赵阳
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光刻物镜  柔性铰链  微动调整机构  系统波像差  
大气相干长度的稳定测量 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 04, 页码: 911-918
作者:  陈浩;  宣丽;  胡立发;  曹召良;  穆全全
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大气光学  自适应光学  大气相干长度  Shack-hartmann