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并联自解耦二自由度微位移平台的研制与测量 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 1874-1881
作者:  齐克奇;  向阳;  丁亚林;  方超;  周振平
caj(489Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：426/125  |  提交时间：2018/04/09
并联式  自解耦  微位移平台  嵌套式平行导向机构  有限元方法  
大行程纳米级定位工作台的结构设计 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 5, 页码: 1065-1071
作者:  陈琦
caj(653Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：297/94  |  提交时间：2017/09/17
扫描干涉光刻系统  高精度工作台  气体静压导轨  摩擦驱动  纳米级定位  
机载刚性支撑式快速控制反射镜设计 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1, 页码: 126-133
作者:  徐新行;  韩旭东;  王兵;  王恒坤;  庄昕宇
caj(1629Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：379/103  |  提交时间：2017/09/17
快速控制反射镜  刚性支撑  差分测量  控制带宽  指向精度  
电容传感器线性度标定平台 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1, 页码: 143-151
作者:  张德福;  葛川;  李显凌;  倪明阳;  郭抗
caj(1959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：300/99  |  提交时间：2017/09/17
电容传感器  线性度标定  标定平台  柔度矩阵