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基于灰度插值的条纹图像位移亚像素检测算法 期刊论文
光学学报, 2021, 卷号: 41, 期号: 10, 页码: 133-141
作者:  李舒航;  高旭;  刘兆武;  胡文浩
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光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 139-142
作者:  陈华;  苏东奇;  隋永新;  章明朝;  田伟;  杨怀江;  张巍
caj(263Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：413/73  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  热像差  主动补偿  光刻机  投影物镜  
极紫外光学元件表面碳污染模型的建立 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 366-372
作者:  鹿国庆;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
caj(416Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：533/164  |  提交时间：2014/03/07
光学器件  极紫外光刻  碳氢化合物污染模型  多层膜光学元件  二次电子  
光刻物镜中主动液体透镜的像差特性研究 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 12, 页码: 1222003
作者:  袁文全;  巩岩
Adobe PDF(1165Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：447/135  |  提交时间：2012/05/11
深紫外光刻照明系统扩束单元设计 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1122004-1
作者:  赵阳;  巩岩;  张巍
Adobe PDF(1374Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：448/162  |  提交时间：2012/05/11
温度对Fizeau干涉仪测量重复性的影响 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 12, 页码: 1212008
作者:  苗二龙;  谷勇强
Adobe PDF(728Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：427/128  |  提交时间：2012/05/11
干涉检测中环境温度引起的镜面变形分析 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 1, 页码: 112007
作者:  史振广;  隋永新;  杨怀江
Adobe PDF(793Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：455/132  |  提交时间：2012/05/11