Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
光刻物镜中主动液体透镜的像差特性研究 | |
袁文全; 巩岩 | |
2011-12-01 | |
发表期刊 | 光学学报 |
ISSN | 0253-2239 |
卷号 | 31期号:12页码:1222003 |
收录类别 | EI |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/3669 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 袁文全,巩岩. 光刻物镜中主动液体透镜的像差特性研究[J]. 光学学报,2011,31(12):1222003. |
APA | 袁文全,&巩岩.(2011).光刻物镜中主动液体透镜的像差特性研究.光学学报,31(12),1222003. |
MLA | 袁文全,et al."光刻物镜中主动液体透镜的像差特性研究".光学学报 31.12(2011):1222003. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
光刻物镜中主动液体透镜的像差特性研究.p(1165KB) | 开放获取 | -- | 浏览 下载 |
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