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极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 135-143
作者:  王君;  王丽萍;  金春水;  苗亮;  谢耀
caj(1576Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：369/109  |  提交时间：2016/07/06
光学设计  极紫外光刻  可视化界面  初始结构  
阵列型紫外LED匀光照明系统设计 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 10, 页码: 194-200
作者:  郝剑;  荆雷;  王尧;  卢振武;  孙强
caj(1514Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：418/158  |  提交时间：2016/07/06
光学设计  紫外曝光  匀光照明  阵列  
极紫外反射镜氧化物保护层的制备与表征 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 411-418
作者:  王珣;  金春水;  李春;  匡尚奇
caj(1793Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：300/115  |  提交时间：2016/07/06
薄膜  极紫外保护层  直流反应磁控溅射  迟滞回线  
极紫外波段平面变栅距全息光栅的优化设计 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 01, 页码: 45-55
作者:  姜岩秀;  巴音贺希格;  杨硕;  赵旭龙;  李文昊;  吴娜
caj(1349Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：378/124  |  提交时间：2016/07/06
光栅  变栅距全息光栅  刻线密度  改进的局部结合优化算法  分辨率