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膜系引入偏振像差对投影光刻物镜设计的影响与改进 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 01, 页码: 346-353
作者:  尚红波;  刘春来;  张巍;  陈华男
caj(1604Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：296/66  |  提交时间：2016/07/06
光学制造  投影光刻物镜  膜系  偏振像差  对比度  
光学表面中频误差对光刻物镜短程杂散光影响分析 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 09, 页码: 235-239
作者:  杨旺;  黄玮;  许伟才;  尚红波
caj(1531Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：539/117  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  杂散光  功率谱密度  公差分析  光刻物镜  
高成像质量光学系统的元件旋转补偿 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 09, 页码: 128-134
作者:  刘春来;  黄玮;  尚红波;  许伟才;  杨旺
caj(3907Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：437/93  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  高成像质量  旋转补偿  材料筛选  波前像差