Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一种深紫外光学薄膜处理装置 (发明) | |
邓文渊 ; 金春水; 常艳贺; 靳京城
| |
| 2012-05-02 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2012-08-29 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 一种深紫外光学薄膜处理装置涉及深紫外光学技术应用领域，该装置包括：控制模块和处理腔。控制模块对处理腔的工作状态进行设定和控制，处理腔对深紫外光学薄膜进行处理；控制模块包括：变压器、电容、数字电路板、第一开关、第二开关和第三开关；处理腔包括：处理腔外壳、红外线灯、紫外光灯、样品台、低温热电偶探头和隔离挡板。该装置同时具有…… |
| 资助项目 | 102430547A |
| 申请号 | 201110346866.4 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12085 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邓文渊,金春水,常艳贺,等. 一种深紫外光学薄膜处理装置 (发明)[P]. 2012-05-02. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN201210243054700000（415KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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