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用于ArF准分子激光器的CaF_2衬底性能的实验表征 期刊论文
中国激光, 2011, 期号: 10, 页码: 22-27
作者:  邓文渊;  金春水;  靳京城
caj(471Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:504/64  |  提交时间:2013/03/11
激光器  Arf准分子激光器  Caf2衬底  激光量热吸收  表面粗糙度  光谱术