Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 光刻物镜恒温水套的小比例模型实验设计 | |
袁文全 ; 巩岩; 张巍; 王学亮; 赵磊; 倪明阳
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| 2011-01-20 | |
| 发表期刊 | 光电工程
 |
| ISSN | 1003-501X |
| 卷号 | 38期号:1页码:60-63 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/3668 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 袁文全,巩岩,张巍,等. 光刻物镜恒温水套的小比例模型实验设计[J]. 光电工程,2011,38(1):60-63. |
| APA | 袁文全,巩岩,张巍,王学亮,赵磊,&倪明阳.(2011).光刻物镜恒温水套的小比例模型实验设计.光电工程,38(1),60-63. |
| MLA | 袁文全,et al."光刻物镜恒温水套的小比例模型实验设计".光电工程 38.1(2011):60-63. |
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| 光刻物镜恒温水套的小比例模型实验设计.p（1090KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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