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精磨光学元件面形的干涉检测技术研究 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2015, 期号: 04, 页码: 558-562
作者:  代雷;  吴迪;  张健;  张春雷;  于长淞;  谷勇强
caj(418Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：256/97  |  提交时间：2016/07/06
精磨检测  光学元件  干涉检测  
三坐标检测光学元件曲率半径的误差分析 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2014, 期号: 11, 页码: 1235-1241
作者:  彭利荣;  王东方;  马占龙;  谷勇强;  王飞;  王高文;  张春雷
caj(751Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：413/122  |  提交时间：2015/04/17
曲率半径检测  干涉仪  三坐标  不确定度  
前馈控制算法校正相移微动台非线性运动 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2014, 期号: 8, 页码: 879-884
作者:  张春雷;  刘健;  王绍治;  史振广;  代雷;  彭利荣;  向阳
caj(464Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：387/124  |  提交时间：2015/04/17
压电陶瓷  柔性铰链  位移放大机构  非线性运动校正  相移误差  
基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2013, 期号: 11, 页码: 1099-1104
作者:  于长淞;  齐克奇;  张春雷;  向阳
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：448/120  |  提交时间：2014/03/07
剪切干涉  光栅移相  压电陶瓷  有限元