Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 精磨光学元件面形的干涉检测技术研究 | |
代雷 ; 吴迪; 张健; 张春雷; 于长淞; 谷勇强
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| 2015-04-15 | |
| 发表期刊 | 电子测量与仪器学报
 |
| 期号 | 04页码:558-562 |
| 摘要 | 为解决传统接触式检测方法检测精磨光学元件效率低,精度差的问题,提出了一种采用干涉检测技术对精磨光学元件面形进行测量方法,该方法具有非接触,测量效率高,误差小的特点。干涉检测中干涉条纹的对比度与工作波长成正比,与表面粗糙度成反比,干涉条纹对比度直接影响最终的检测结果。因此首先分析干涉条纹对比度与精磨表面粗糙度之间的关系,证明采用可见光干涉仪对精磨粗糙表面进行检测的可行性,并对利用GPI型数字干涉仪检测精磨粗糙表面进行了实验验证,检测面形结果约为PV 1.5μm,并与红外干涉仪以及接触式轮廓仪测量结果进行了对比,验证结果有效性。最后给出了当粗糙度阈值Rq优于150 nm时,可采用该方法进行检测,具有较高的实用价值。 |
| 关键词 | 精磨检测 光学元件 干涉检测 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53916 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 代雷,吴迪,张健,等. 精磨光学元件面形的干涉检测技术研究[J]. 电子测量与仪器学报,2015(04):558-562. |
| APA | 代雷,吴迪,张健,张春雷,于长淞,&谷勇强.(2015).精磨光学元件面形的干涉检测技术研究.电子测量与仪器学报(04),558-562. |
| MLA | 代雷,et al."精磨光学元件面形的干涉检测技术研究".电子测量与仪器学报 .04(2015):558-562. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 精磨光学元件面形的干涉检测技术研究.ca（418KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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