Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 三坐标检测光学元件曲率半径的误差分析 | |
彭利荣 ; 王东方; 马占龙; 谷勇强; 王飞; 王高文; 张春雷
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| 2014-11-15 | |
| 发表期刊 | 电子测量与仪器学报
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| 期号 | 11页码:1235-1241 |
| 摘要 | 对光学元件曲率半径的通用检测方法进行评估,理论分析了三坐标系统检测元件曲率半径误差的主要来源、分布以及总和,并通过与激光干涉仪测量结果的对比,明确了三坐标测量系统的检测精度,为铣磨加工阶段进一步修正光学元件曲率半径提供数据支持。首先介绍了三坐标系统检测曲率半径的基本原理,对测量误差的主要来源进行简单分析,获得三坐标系统测量曲率半径的不确定度;阐述了激光干涉仪测量曲率半径的基本原理以及误差来源,并计算了测量不确定度,证实激光干涉仪的理论测量精度优于三坐标系统。然后利用三坐标系统对简单抛光后的F数分别为2.17、1.45、0.923的光学元件进行实际测量,并与激光干涉仪的测量结果进行了比较。最后,对实验结果与理论计算结果进行对比。论文研究结果确定了三坐标系统测量光学元件曲率半径的不确定度,证实了利用三坐标测量曲率半径满足铣磨加工阶段的要求,能够为铣磨加工提供指导;同时研究发现,随着光学元件F数的增加,三坐标和激光干涉仪的测量误差都有增大的趋势。 |
| 关键词 | 曲率半径检测 干涉仪 三坐标 不确定度 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43080 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 彭利荣,王东方,马占龙,等. 三坐标检测光学元件曲率半径的误差分析[J]. 电子测量与仪器学报,2014(11):1235-1241. |
| APA | 彭利荣.,王东方.,马占龙.,谷勇强.,王飞.,...&张春雷.(2014).三坐标检测光学元件曲率半径的误差分析.电子测量与仪器学报(11),1235-1241. |
| MLA | 彭利荣,et al."三坐标检测光学元件曲率半径的误差分析".电子测量与仪器学报 .11(2014):1235-1241. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 三坐标检测光学元件曲率半径的误差分析.c（751KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |||
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