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极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者:  喻波;  李春;  金春水;  王春忠
收藏  |  浏览/下载：252/0  |  提交时间：2017/09/17
薄膜  极紫外光刻  宽带多层膜  Mo/si多层膜  
热蒸发紫外LaF_3薄膜光学性能和结构表征 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 10, 页码: 136-140
作者:  常艳贺;  金春水;  李春;  靳京城
caj(868Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：530/102  |  提交时间：2013/03/11
薄膜  沉积温度  热蒸发  Laf3  光学损耗  
热蒸发紫外LaF_3薄膜光学常数的表征 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 08, 页码: 160-163
作者:  常艳贺;  金春水;  李春;  靳京城
caj(435Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：492/135  |  提交时间：2013/03/11
薄膜  光学常数  热蒸发  Laf3  折射率  不均匀性  
基于掠入射X射线反射谱的Mo/Si多层膜扩散系数测量 期刊论文
中国激光, 2011, 期号: 11, 页码: 220-225
作者:  喻波;  李春;  金春水
caj(458Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：506/127  |  提交时间：2013/03/11
薄膜  Mo/si多层膜  扩散系数  掠入射x射线反射谱  四层模型  极紫外  
深紫外氧化物薄膜的光学特性 期刊论文
中国激光, 2011
作者:  金春水;  李春;  邓文渊;  匡尚奇
Adobe PDF(465Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：483/118  |  提交时间：2012/05/11
基于掠入射X射线反射镜的Mo/Si多层膜扩散系数测量 期刊论文
中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 11
作者:  喻波;  李春;  金春水
Adobe PDF(568Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：421/120  |  提交时间：2012/05/11