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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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研究单元&专题
中科院长春光机所知识... [6]
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期刊论文 [6]
发表日期
2016 [1]
2012 [2]
2011 [3]
语种
中文 [1]
出处
中国激光 [6]
资助项目
收录类别
EI [2]
资助机构
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专题:中科院长春光机所知识产出
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出处:中国激光
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极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备
期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者:
喻波
;
李春
;
金春水
;
王春忠
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浏览/下载:252/0
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提交时间:2017/09/17
薄膜
极紫外光刻
宽带多层膜
Mo/si多层膜
热蒸发紫外LaF_3薄膜光学性能和结构表征
期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 10, 页码: 136-140
作者:
常艳贺
;
金春水
;
李春
;
靳京城
caj(868Kb)
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浏览/下载:530/102
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提交时间:2013/03/11
薄膜
沉积温度
热蒸发
Laf3
光学损耗
热蒸发紫外LaF_3薄膜光学常数的表征
期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 08, 页码: 160-163
作者:
常艳贺
;
金春水
;
李春
;
靳京城
caj(435Kb)
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收藏
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浏览/下载:504/140
  |  
提交时间:2013/03/11
薄膜
光学常数
热蒸发
Laf3
折射率
不均匀性
基于掠入射X射线反射谱的Mo/Si多层膜扩散系数测量
期刊论文
中国激光, 2011, 期号: 11, 页码: 220-225
作者:
喻波
;
李春
;
金春水
caj(458Kb)
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浏览/下载:516/130
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提交时间:2013/03/11
薄膜
Mo/si多层膜
扩散系数
掠入射x射线反射谱
四层模型
极紫外
深紫外氧化物薄膜的光学特性
期刊论文
中国激光, 2011
作者:
金春水
;
李春
;
邓文渊
;
匡尚奇
Adobe PDF(465Kb)
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浏览/下载:497/120
  |  
提交时间:2012/05/11
基于掠入射X射线反射镜的Mo/Si多层膜扩散系数测量
期刊论文
中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 11
作者:
喻波
;
李春
;
金春水
Adobe PDF(568Kb)
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浏览/下载:431/120
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提交时间:2012/05/11