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一种可双向调节缝宽的狭缝装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-28, 公开日期: 2011-12-28
发明人:  倪明阳;  巩岩;  张巍;  赵磊;  王学亮;  袁文全
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一种光刻投影物镜中镜片的支撑装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  倪明阳;  巩岩;  张巍;  赵磊;  王学亮;  袁文全
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一种光刻机投影物镜镜头的装调装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  巩岩;  张巍;  倪明阳;  赵磊;  王学亮;  袁文全
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光刻物镜中主动液体透镜的像差特性研究 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 12, 页码: 1222003
作者:  袁文全;  巩岩
Adobe PDF(1165Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:428/125  |  提交时间:2012/05/11
高精度物镜波纹管致动器的线性分析 期刊论文
光子学报, 2011, 期号: 10, 页码: 1526-1530
作者:  袁文全;  巩岩;  张巍;  王学亮;  倪明阳;  赵磊
Adobe PDF(544Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:456/136  |  提交时间:2012/05/11
光机系统胶接结构固化时间对面形精度的分析 期刊论文
光电工程, 2011, 期号: 10, 页码: 140-145
作者:  刘玖;  杨洪波;  巩岩;  袁文全
caj(1336Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:439/106  |  提交时间:2013/03/11
光机系统  胶接结构  胶接剂  固化时间  粘弹性  
高精度物镜波纹管致动器的线性度分析 期刊论文
光子学报, 2011, 期号: 10, 页码: 1526-1530
作者:  袁文全;  巩岩;  张巍;  王学亮;  倪明阳;  赵磊
caj(445Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:448/123  |  提交时间:2013/03/11
高精度物镜  气动  波纹管  几何非线性  有限单元法  
四幕拼接三维视景仿真方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-10-05, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  崔爽;  李岩;  于国权;  王建军;  杨词银;  路明;  李姜;  于洋;  王思雯
Adobe PDF(736Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:547/84  |  提交时间:2012/08/29
精密气动定位系统的发展及应用 期刊论文
光机电信息, 2011, 卷号: 28, 期号: 8, 页码: 37-44
作者:  袁文全;  巩岩
Adobe PDF(973Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:432/168  |  提交时间:2012/05/11
一种投影物镜系统中光学元件轴向微动调整装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-08-17, 公开日期: 2011-08-17
发明人:  赵磊;  巩岩;  倪明阳;  张巍;  王学亮;  袁文全
Adobe PDF(727Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:555/67  |  提交时间:2012/08/29