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直梁圆角形柔性铰链的柔度矩阵分析 期刊论文
中国机械工程, 2013, 期号: 18, 页码: 2462-2468
作者:  赵磊;  巩岩;  华洋洋
caj(484Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：436/122  |  提交时间：2014/03/07
直梁圆角形柔性铰链  柔顺机构  柔度矩阵  有限元法  
光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 06, 页码: 1425-1433
作者:  赵磊;  巩岩;  赵阳
caj(1756Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：403/125  |  提交时间：2014/03/07
光刻物镜  柔性铰链  微动调整机构  系统波像差  
直梁圆角型柔性铰链的回转精度分析 期刊论文
中国机械工程, 2013, 期号: 06, 页码: 715-720
作者:  赵磊;  巩岩
caj(806Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：284/48  |  提交时间：2014/03/07
直梁圆角型柔性铰链  柔顺机构  回转精度  有限元  
光刻投影物镜中柔性多弹片支撑方式的性能分析 期刊论文
光电工程, 2013, 期号: 02, 页码: 71-75
作者:  彭海峰;  巩岩;  赵磊
caj(1322Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：380/87  |  提交时间：2014/03/07
光刻投影物镜  多弹片支撑结构  自重变形  面形分析