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光学系统计算机辅助装调的坐标基准过渡方法 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 3, 页码: 235-240
作者:  顾志远;  颜昌翔;  胡春晖;  王洋;  高志良;  刘伟
caj(198Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：379/109  |  提交时间：2015/04/17
光学设计  光学系统装调  计算机辅助装调  坐标基准过渡  最小二乘法  
光学表面中频误差对光刻物镜短程杂散光影响分析 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 09, 页码: 235-239
作者:  杨旺;  黄玮;  许伟才;  尚红波
caj(1531Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：527/110  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  杂散光  功率谱密度  公差分析  光刻物镜  
高成像质量光学系统的元件旋转补偿 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 09, 页码: 128-134
作者:  刘春来;  黄玮;  尚红波;  许伟才;  杨旺
caj(3907Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：423/92  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  高成像质量  旋转补偿  材料筛选  波前像差  
近似三角波莫尔条纹光电信号的细分误差修正 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 08, 页码: 114-118
作者:  冯英翘;  万秋华;  孙莹;  杨守旺;  赵长海
caj(1044Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：549/188  |  提交时间：2014/03/07
信号处理  光电编码器  精度  修正  莫尔条纹  细分误差