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光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 790-797
作者:  董世则;  郭抗;  李显凌;  陈华男;  张德福
caj(1307Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：381/119  |  提交时间：2018/04/09
光刻物镜  调节机构  狭缝柔性结构  刚度比  导向精度  
快反系统中平面反射镜的轻量化设计 期刊论文
中国光学, 2012, 期号: 01, 页码: 35-41
作者:  徐新行;  王兵;  乔健;  刘长顺;  时魁
caj(805Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：465/152  |  提交时间：2013/03/11
快速控制反射镜  轻量化  有限元分析  碳化硅