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脉冲电镀制备硅基细晶镍铁合金薄膜 期刊论文
微细加工技术, 2007, 期号: 2
作者:  马波;  刘波;  吴一辉;  贾宏光;  张平
caj(1169Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：344/87  |  提交时间：2012/09/25
硅基  镍铁薄膜  脉冲电流  晶粒  
一种PDMS微混合器的制备及性能分析 期刊论文
微细加工技术, 2006, 期号: 2
作者:  李淑娴;  吴一辉;  贾宏光;  张平;  王淑荣;  宣明
caj(291Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：403/61  |  提交时间：2012/09/25
微混合器  Pdms  模压  透射比  混合  
基于MEMS的条栅状微过滤器的设计与制作 期刊论文
微细加工技术, 2006, 期号: 1
作者:  何林;  吴一辉;  张平;  宣明
caj(965Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：273/47  |  提交时间：2012/09/25
微型全分析系统(Μtas)  血细胞分离  微过滤器  Mems  微分离技术  
微光机械振动传感器的设计与制作 期刊论文
微细加工技术, 2006, 卷号: 1, 期号: 1, 页码: 61
作者:  张平
caj(189Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：277/31  |  提交时间：2012/09/25
用于微摩擦测试的微力传感器及其制作 期刊论文
微细加工技术, 2004, 期号: 03, 页码: 65-69
作者:  黎海文;  吴一辉;  李也凡;  张平;  王淑荣;  贾宏光
caj(69Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：353/59  |  提交时间：2013/03/11
Mems  微摩擦测试  微力传感器  
偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 04, 页码: 18-21+26
作者:  鞠挥;  张平;  王淑荣;  吴一辉
caj(46Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：389/54  |  提交时间：2013/03/11
(111)硅片  闪耀光栅  体硅技术  微制造  Mems  湿法腐蚀  
PDMS薄膜电磁微泵的原理与制作 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 02, 页码: 54-58
作者:  白兰;  吴一辉;  张平;  王淑荣
caj(86Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：349/60  |  提交时间：2013/03/11
微泵  Pdms薄膜  Ndfeb薄片  电磁驱动  
双转子平面微电机定子制作工艺研究 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 01, 页码: 73-75+80
作者:  梁静秋;  郭占社;  吴一辉;  王淑荣;  张平;  宣明
caj(71Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：416/78  |  提交时间：2013/03/11
双转子  平面微电机  定子  孔引线  准liga技术