Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计 | |
鞠挥; 张平 ; 王淑荣; 吴一辉
| |
| 2003-12-30 | |
| 发表期刊 | 微细加工技术
 |
| 期号 | 04页码:18-21+26 |
| 关键词 | (111)硅片 闪耀光栅 体硅技术 微制造 Mems 湿法腐蚀 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28817 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 鞠挥,张平,王淑荣,等. 偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计[J]. 微细加工技术,2003(04):18-21+26. |
| APA | 鞠挥,张平,王淑荣,&吴一辉.(2003).偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计.微细加工技术(04),18-21+26. |
| MLA | 鞠挥,et al."偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计".微细加工技术 .04(2003):18-21+26. |
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