Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于MEMS的条栅状微过滤器的设计与制作 | |
何林; 吴一辉 ; 张平; 宣明
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| 2006-03-30 | |
| 发表期刊 | 微细加工技术
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| ISSN | 1003-8213 |
| 期号 | 1 |
| 摘要 | 为了满足微型全分析系统对样品分离的集成度要求,提出了一种新型的微分离技术。利用MEMS技术设计制作了一种条栅状的硅微结构的过滤器,线宽14μm,周期40μm。介绍了其制作工艺,并用碳化硒微粒做了过滤实验以验证其过滤效率。结果表明,这种硅微过滤器能有效去除悬液中直径在14μm以上的微粒,且生物兼容性好,结构简单,易于实现片内集成。 |
| 关键词 | 微型全分析系统(Μtas) 血细胞分离 微过滤器 Mems 微分离技术 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/24166 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 何林,吴一辉,张平,等. 基于MEMS的条栅状微过滤器的设计与制作[J]. 微细加工技术,2006(1). |
| APA | 何林,吴一辉,张平,&宣明.(2006).基于MEMS的条栅状微过滤器的设计与制作.微细加工技术(1). |
| MLA | 何林,et al."基于MEMS的条栅状微过滤器的设计与制作".微细加工技术 .1(2006). |
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