Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
PDMS薄膜电磁微泵的原理与制作 | |
白兰; 吴一辉; 张平; 王淑荣 | |
2003-06-30 | |
发表期刊 | 微细加工技术 |
期号 | 02页码:54-58 |
关键词 | 微泵 Pdms薄膜 Ndfeb薄片 电磁驱动 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29394 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 白兰,吴一辉,张平,等. PDMS薄膜电磁微泵的原理与制作[J]. 微细加工技术,2003(02):54-58. |
APA | 白兰,吴一辉,张平,&王淑荣.(2003).PDMS薄膜电磁微泵的原理与制作.微细加工技术(02),54-58. |
MLA | 白兰,et al."PDMS薄膜电磁微泵的原理与制作".微细加工技术 .02(2003):54-58. |
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