Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 用于微摩擦测试的微力传感器及其制作 | |
黎海文; 吴一辉 ; 李也凡; 张平; 王淑荣; 贾宏光
| |
| 2004-09-30 | |
| 发表期刊 | 微细加工技术
 |
| 期号 | 03页码:65-69 |
| 关键词 | Mems 微摩擦测试 微力传感器 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28969 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 黎海文,吴一辉,李也凡,等. 用于微摩擦测试的微力传感器及其制作[J]. 微细加工技术,2004(03):65-69. |
| APA | 黎海文,吴一辉,李也凡,张平,王淑荣,&贾宏光.(2004).用于微摩擦测试的微力传感器及其制作.微细加工技术(03),65-69. |
| MLA | 黎海文,et al."用于微摩擦测试的微力传感器及其制作".微细加工技术 .03(2004):65-69. |
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