Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 脉冲电镀制备硅基细晶镍铁合金薄膜 | |
马波; 刘波; 吴一辉 ; 贾宏光; 张平
| |
| 2007-04-15 | |
| 发表期刊 | 微细加工技术
 |
| ISSN | 1003-8213 |
| 期号 | 2 |
| 摘要 | 应用脉冲电镀法在硅片上制备细晶粒镍铁合金薄膜,对电镀工艺参数与形成的沉积层的微观组织关系进行了探讨。通过改变脉冲电源的电参数来研究其对镀层结构和微观形貌的影响。运用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)等实验手段对电镀层微观结构进行了观测与分析。研究表明,随着电流密度的增加与脉冲频率的加大,沉积层晶粒明显细化,致密度增大,使镀层质量得到很大的提高。 |
| 关键词 | 硅基 镍铁薄膜 脉冲电流 晶粒 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21259 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马波,刘波,吴一辉,等. 脉冲电镀制备硅基细晶镍铁合金薄膜[J]. 微细加工技术,2007(2). |
| APA | 马波,刘波,吴一辉,贾宏光,&张平.(2007).脉冲电镀制备硅基细晶镍铁合金薄膜.微细加工技术(2). |
| MLA | 马波,et al."脉冲电镀制备硅基细晶镍铁合金薄膜".微细加工技术 .2(2007). |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 脉冲电镀制备硅基细晶镍铁合金薄膜.caj（1169KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [马波]的文章 |
| [刘波]的文章 |
| [吴一辉]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [马波]的文章 |
| [刘波]的文章 |
| [吴一辉]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [马波]的文章 |
| [刘波]的文章 |
| [吴一辉]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论