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| 一种非接触式扫描镜转角和转速测试系统 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210268287.7, 申请日期: 2014-07-09, 公开日期: 2014-07-09
发明人: 颜昌翔 ; 王洋
 浏览 |  Adobe PDF(1685Kb) |  收藏 | 浏览/下载：307/94 | 提交时间：2015/02/10 |
| 三个反射镜同轴视场角为10°的远心离轴三反镜成像系统 专利
专利类型: 发明, 专利号: ZL201010599531.9, 申请日期: 2013-06-19, 公开日期: 2014-03-11
发明人: 刘晓梅; 向阳
Adobe PDF(205Kb) | 收藏 | 浏览/下载：351/61 | 提交时间：2014/03/11 |
| 一种二自由度微位移精密定位装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-08-01, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 齐克奇; 向阳
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| 一种光刻机投影物镜微调平机构 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-07-25, 公开日期: 2012-07-25
发明人: 向阳; 齐克奇
Adobe PDF(511Kb) | 收藏 | 浏览/下载：541/112 | 提交时间：2012/08/29 |
| 一种高精度横向剪切干涉仪相移装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-27, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 何煦; 向阳
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| 一种同时测量调整光学镜片两面中心偏差的光学系统 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-04-25, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 方超; 向阳
Adobe PDF(0Kb) | 收藏 | 浏览/下载：443/68 | 提交时间：2012/08/29 |
| 一种高精度测量调整光学镜片中心偏差的光学系统 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-21, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 方超; 向阳
Adobe PDF(356Kb) | 收藏 | 浏览/下载：524/74 | 提交时间：2012/08/29 |
| 一种高精度系统波像差检测方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-07, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 向阳; 于长淞
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| 一种具有实入瞳的远心离轴三反镜光学成像系统 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-01-18, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 刘晓梅; 向阳
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| 一种用于光刻投影物镜安装的调平定位装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-21, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 向阳; 齐克奇
Adobe PDF(695Kb) | 收藏 | 浏览/下载：387/56 | 提交时间：2012/08/29 |
