Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
一种高精度系统波像差检测方法 (发明) | |
向阳![]() ![]() | |
2012-03-07 | |
专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
公开日期 | 2012-08-29 |
专利类型 | 发明专利 |
摘要 | 一种高精度系统波像差检测方法属于光学检测领域,其步骤包括:光源发射照明光束,进入照明系统和小孔空间滤波器后衍射产生理想球面波前的光束;入射进入被测投影物镜,带有像差信息的出射光束经光栅衍射及空间滤波器后发生干涉并由图像传感器采集,进行波面拟合,得到波像差;通过入射和旋转180°后入射进入被测投影物镜得到两次波前测量结果…… |
资助项目 | 102368139A |
申请号 | 201110346849.0 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12064 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 向阳,于长淞. 一种高精度系统波像差检测方法 (发明)[P]. 2012-03-07. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN201210236813900000(455KB) | 开放获取 | -- | 浏览 下载 |
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