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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [3]
作者
邓文渊 [2]
金春水 [2]
李春 [2]
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王立军 [1]
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文献类型
期刊论文 [6]
发表日期
2020 [3]
2015 [1]
2011 [1]
2005 [1]
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光学学报 [6]
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EI [1]
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Mo/Si原子高能量沉积中反射和再溅射的研究
期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 11, 页码: 46-53
作者:
孙诗壮
;
金春水
;
喻波
;
郭涛
;
姚舜
;
李春
;
邓文渊
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提交时间:2021/07/06
原子与分子物理学
分子动力学
反射
再溅射
Mo/Si原子
角度分布
能量分布
Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究
期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:
孙诗壮
;
金春水
;
喻波
;
郭涛
;
姚舜
;
李春
;
邓文渊
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提交时间:2021/07/06
薄膜
Mo/Si多层膜
极紫外光刻
磁控溅射
表面粗糙度
功率谱密度
大功率半导体激光器发展及相关技术概述
期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 41, 期号: 01, 页码: 191-200
作者:
宁永强
;
陈泳屹
;
张俊
;
宋悦
;
雷宇鑫
;
邱橙
;
梁磊
;
贾鹏
;
秦莉
;
王立军
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提交时间:2021/07/06
激光器
半导体激光器
大功率
芯片技术
合束技术
极紫外反射镜氧化物保护层的制备与表征
期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 411-418
作者:
王珣
;
金春水
;
李春
;
匡尚奇
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提交时间:2016/07/06
薄膜
极紫外保护层
直流反应磁控溅射
迟滞回线
微型红外辐射探测芯片的设计及实验研究
期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1112009-1
作者:
梁中翥
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提交时间:2012/05/11
X射线W/B_4C宽带多层膜的优化设计和制备
期刊论文
光学学报, 2005, 期号: 10, 页码: 139-141
作者:
姚志华
;
金春水
;
杨雄
;
张立超
;
金伟华
;
曹健林
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提交时间:2013/03/11
X射线光学
宽带多层膜
评价函数
遗传算法
磁控溅射