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确定单晶硅湿法刻蚀制作中阶梯光栅中刻蚀截止点的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201310251594.9, 申请日期: 2014-11-19, 公开日期: 2014-11-19
发明人:  焦庆斌 谭鑫 巴音贺希格 齐向东
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一种快速检测月基极紫外相机图像采集系统性能的装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210375215.2, 申请日期: 2014-11-19, 公开日期: 2014-11-19
发明人:  王永成 宋克菲 孙亮 刘南南
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一种便携式中心遮拦结构杂散光检测装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210488298.6, 申请日期: 2014-11-19, 公开日期: 2014-11-19
发明人:  张红鑫 孙明哲 卜和阳 卢振武
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一种光栅尺周期内精度的自动检测装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201110449419.1, 申请日期: 2014-05-28, 公开日期: 2014-05-28
发明人:  曾琪峰;  吴宏圣;  乔栋;  孟辉;  孙强;  张立华
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一种用于红外多谱段激光监视对准的装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201110336151.0, 申请日期: 2014-03-12, 公开日期: 2014-03-12
发明人:  郭汝海;  邵帅;  郭劲
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太阳能槽式曲面反光镜面形误差检测装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201110449273.0, 申请日期: 2014-03-12, 公开日期: 2014-03-12
发明人:  魏秀东;  肖君;  卢振武;  任兰旭
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编码器测角精度检测装置及方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201110391655.2, 申请日期: 2014-03-12, 公开日期: 2014-03-12
发明人:  艾华;  曹艳波
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光栅尺标尺光栅铣磨面直线度误差的非接触自动检测装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-07-25, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  张吉鹏;  孙强;  谭向全;  卢振武
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光栅线位移传感器指示光栅间隙检测装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-07-25, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  张吉鹏;  黄剑波;  卢振武;  孙强;  乔栋;  杨帆;  续志军
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一种光栅尺周期内精度的自动检测装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-07-11, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  曾琪峰;  吴宏圣;  乔栋;  孟辉;  孙强;  张立华
Adobe PDF(376Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:462/84  |  提交时间:2012/08/29