光栅尺标尺光栅铣磨面直线度误差的非接触自动检测装置 (发明)

	光栅尺标尺光栅铣磨面直线度误差的非接触自动检测装置 (发明)
	张吉鹏; 孙强; 谭向全; 卢振武
	2012-07-25
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	光栅尺标尺光栅铣磨面直线度误差的非接触自动检测装置，涉及标尺光栅铣磨面直线度误差的非接触自动检测装置，解决现有采用接触式测量光栅尺标尺光栅的铣磨面直线度时，由于存在测量误差，导致检测数据不准确的问题，ＬＥＤ光源发出的光经过聚光镜聚光后，被分光棱镜向下反射，透过物镜后形成圆形光斑，光斑的一半照在标尺光栅上，另一半照在底座……
资助项目	102607470A
申请号	201210088597.0
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12234
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	张吉鹏,孙强,谭向全,等. 光栅尺标尺光栅铣磨面直线度误差的非接触自动检测装置 (发明)[P]. 2012-07-25.