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光栅线位移传感器指示光栅间隙检测装置 (发明)
张吉鹏; 黄剑波; 卢振武; 孙强; 乔栋; 杨帆; 续志军
2012-07-25
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期2012-08-29
专利类型发明专利
摘要光栅线位移传感器指示光栅间隙检测装置,属于光电测量技术领域,为解决现有光栅线位移传感器中指示光栅间隙检测时判断不准确,效率低的问题,本发明装置包括间隔反射玻璃、光栅滑架、指示光栅、光源、准直物镜、显微物镜和CCD摄像头,所述光源发出的光入射到准直物镜,经准直物镜准直后,出射光入射到间隔反射玻璃和指示光栅上,一部分光线被……
资助项目102607445A
申请号201210090860.X
文献类型专利
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12232
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
张吉鹏,黄剑波,卢振武,等. 光栅线位移传感器指示光栅间隙检测装置 (发明)[P]. 2012-07-25.
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