Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
光栅线位移传感器指示光栅间隙检测装置 (发明) | |
张吉鹏; 黄剑波; 卢振武; 孙强; 乔栋; 杨帆; 续志军 | |
2012-07-25 | |
专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
公开日期 | 2012-08-29 |
专利类型 | 发明专利 |
摘要 | 光栅线位移传感器指示光栅间隙检测装置,属于光电测量技术领域,为解决现有光栅线位移传感器中指示光栅间隙检测时判断不准确,效率低的问题,本发明装置包括间隔反射玻璃、光栅滑架、指示光栅、光源、准直物镜、显微物镜和CCD摄像头,所述光源发出的光入射到准直物镜,经准直物镜准直后,出射光入射到间隔反射玻璃和指示光栅上,一部分光线被…… |
资助项目 | 102607445A |
申请号 | 201210090860.X |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12232 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张吉鹏,黄剑波,卢振武,等. 光栅线位移传感器指示光栅间隙检测装置 (发明)[P]. 2012-07-25. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN201210260744500000(265KB) | 开放获取 | -- | 浏览 下载 |
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