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光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  代晓珂
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光学检测  极紫外光刻  波面参考源  偏振控制  
棱镜-光栅型光谱成像技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  陈洪福
Adobe PDF(4070Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：380/2  |  提交时间：2015/05/03
光学设计  成像光谱仪  P-g P-g-p  谱线弯曲  体全息相位光  
深紫外光学薄膜激光辐照特性研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  赵灵
Adobe PDF(3284Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：394/1  |  提交时间：2015/05/03
深紫外  光学薄膜  吸收  激光量热法  
S-H波前传感器在计算机辅助装调中的应用研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  赵菲菲
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计算机辅助装调  S-h波前传感器  投影光刻物镜  质心探测精度  阈值选取  
红外晶体双折射测试设备测控系统研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
作者:  何淼
Adobe PDF(2960Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：271/2  |  提交时间：2013/03/01