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New Measuring Method of Diffraction Efficiency for Concave Grating Based on Fourier Optics Principle 期刊论文
Spectroscopy and Spectral Analysis, 2017, 卷号: 37, 期号: 4
作者:  Ma, Z. Y.;  X. D. Qi;  X. T. Li;  Bayanheshig;  X. F. Yao;  Jirigalantu;  S. W. Zhang and H. L. Yu
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Beam Alignment Error and Its Control in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 7
作者:  Wang, W.;  Bayanheshig;  M. Pan;  Y. Song and W. Li
浏览  |  Adobe PDF(993Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:277/84  |  提交时间:2018/06/13
基于PI逆模型的压电执行器复合控制 期刊论文
压电与声光, 2016, 期号: 4, 页码: 553-557
作者:  江国栋;  王晓东
caj(264Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:318/107  |  提交时间:2017/09/17
腔衰荡光谱  压电陶瓷  迟滞非线性  Prandtl-ishlinskii(Pi)模型  复合控制  
Dynamic modeling of input-output coupled piezoelectric fast steering mirror 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2016, 卷号: 45, 期号: 3
作者:  Song, H.;  J. Zhang;  R. Li;  T. Liu;  S. Zhan;  P. Yang;  Q. Mu and W. Yang
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基于超精密定位的压电陶瓷驱动及其控制技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  江国栋
Adobe PDF(2026Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:280/2  |  提交时间:2016/04/11
压电陶瓷  腔衰荡光谱  控制系统  迟滞非线性  Prandtl-ishlinskii 模型  复合控制  
基于单压电执行器的光栅刻线摆角修正 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2039-2046
作者:  李晓天;  齐向东;  于海利;  高键翔;  冯树龙;  巴音贺希格
caj(243Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:323/71  |  提交时间:2015/04/17
平面光栅  光栅刻线  摆角修正  衍射波前  压电执行器  
Yaw angle correction of grating line based on single piezoelectric actuator 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2014, 卷号: 22, 期号: 8, 页码: 2039-2046
作者:  Li X.-T.;  Qi X.-D.;  Yu H.-L.;  Gao J.-X.;  Feng S.-L.;  Bayanheshig
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压电陶瓷系统迟滞非线性建模与控制的研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  孙孔政
Adobe PDF(2255Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:380/3  |  提交时间:2014/03/15
压电陶瓷  迟滞特性  Duhem模型  逆补偿  Labview Fpga