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| 中阶梯光栅拼接及复制技术研究 学位论文 , 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 丛敏 caj(6456Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:95/0  |  提交时间:2020/08/24 光栅拼接 中阶梯光栅 拼接误差 干涉法 误差分析 |
| Interference Fringe Locking by Grating-Shifting Holographic Grating Exposure 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 5 作者: Song, Y.; X. Zhao; Y. Jiang; Bayanheshig and X. Qi 浏览  |  Adobe PDF(528Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:310/94  |  提交时间:2018/06/13 |
| Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9 作者: Wang, W.; S. Jiang; Y. Song and Bayanheshig 浏览  |  Adobe PDF(4373Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:271/80  |  提交时间:2018/06/13 |
| Profile online detection for two-dimensional stage x axis mirror in scanning exposure systems 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 1 作者: Liu, Z.; W. Li; Bayanheshig; Y. Song; S. Jiang; X. Li and Q. Lu 浏览  |  Adobe PDF(420Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:307/87  |  提交时间:2018/06/13 |
| Online detection of profile deviation for nano precision 2-D stage mirror 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 9 作者: Liu, Z.-W.; W.-H. Li; J.-K. Wang; S. Jiang; Y. Song; M.-Z. Pan and Bayanheshig 浏览  |  Adobe PDF(624Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:306/87  |  提交时间:2017/09/11 |
| Detection and calculation of mosaic grating error based on wavefront method 期刊论文 Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 5 作者: Lu, Y.; X. Qi; X. Mi; S. Jiang; H. Yu; X. Li and L. Yin 浏览  |  Adobe PDF(590Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:286/73  |  提交时间:2017/09/11 |
| 新型液晶器件的制备研究及其在光通信中的应用 期刊论文 科技通报, 2015, 期号: 09, 页码: 144-147 作者: 李文萃; 王世文; 李雄; 黄文彬 caj(1565Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:288/118  |  提交时间:2016/07/06 液晶光栅 衍射效率 电控特性 光通信器件 |
| 自由电子激光器用极紫外波段平面变栅距光栅 期刊论文 光学精密工程, 2015, 期号: 08, 页码: 2117-2124 作者: 姜岩秀; 巴音贺希格; 赵旭龙; 杨硕; 吴娜 caj(346Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:245/99  |  提交时间:2016/07/06 自由电子激光器 平面变栅距光栅 全息曝光 刻线密度误差 分辨能力 |
| Design and analysis of diamond carrier aerostatic guideway in large diffraction grating ruling engine 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 4 作者: Song, N.; S. Feng; H. Yu; X. Qi; Bayanheshig and Y. Tang 浏览  |  Adobe PDF(1451Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:331/67  |  提交时间:2016/08/24 |
| Design of a varied-line-space plane grating in EUV spectrum 期刊论文 Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 1 作者: Jiang, Y.; Bayanheshig; S. Yang; X. Zhao; W. Li and N. Wu 浏览  |  Adobe PDF(1560Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:366/101  |  提交时间:2016/08/24 |