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基于双频激光干涉仪大载荷纳米微动台的研制 期刊论文
实验室研究与探索, 2014, 期号: 12, 页码: 54-57
作者:  陈琦;  钟君
caj(165Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：330/115  |  提交时间：2015/04/17
压电陶瓷  纳米定位  气浮导轨  激光干涉仪  
空间微振动模拟器设计研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  石柱
Adobe PDF(2837Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：268/3  |  提交时间：2015/05/03
空间微振动  Stewart  动力学建模  构型优化  结构设计  
压电陶瓷驱动精密摆镜控制系统的研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  赵广义
Adobe PDF(1437Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：523/2  |  提交时间：2015/05/03
压电陶瓷  两维摆镜  动态迟滞模型  前馈pid 控制  
基于电容微位移传感器的大载荷微动台的研制 期刊论文
应用科技, 2014, 期号: 6
作者:  陈琦
Unknown(565Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：249/69  |  提交时间：2015/04/17
纳米定位  压电陶瓷  气浮导轨  电容微位移传感器