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甚大口径分体自重组式主镜系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  杨会生
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分体自重组  甚大口径  共相技术  位姿调整  误差修正  参量解析  
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  张璐
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光刻物镜  光学检测  波像差  光栅横向剪切干涉仪  绝对检测  
投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  赵磊
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投影光刻物镜  像质补偿技术  柔顺微动机构  主动变形镜  
子口径斜率扫描检测技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  赵宪宇
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大口径光学系统  不同姿态条件下像质评价  哈特曼原理  波面重构  
Design of monocentric wide field-of-view and high-resolution computational imaging system 期刊论文
Acta Physica Sinica, 2019, 卷号: 68, 期号: 8, 页码: 10
作者:  F.Liu;  Y.Z.Wei;  P.L.Han;  J.W.Liu;  X.P.Shao
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wide field of view and high-resolution imaging system,computational,imaging,optical system design,multi-scale imaging,Physics