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| 大行程纳米级定位工作台的结构设计 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 5, 页码: 1065-1071
作者: 陈琦
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扫描干涉光刻系统 高精度工作台 气体静压导轨 摩擦驱动 纳米级定位 |
| 基于杠杆模式施载的圆弧刃光栅刻画刀具刃磨机床研制 期刊论文
机械工程学报, 2016, 期号: 9, 页码: 201-207
作者: 吉日嘎兰图; 李晓天; 刘凯; 张善文; 巴音贺希格; 齐向东; 唐玉国
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杠杆模式 圆弧刃 光栅刻画刀 刃磨机床 |
| Development of arc-edge tool lapping machine for grating ruling based on leverage load mode 期刊论文
Jixie Gongcheng Xuebao/Journal of Mechanical Engineering, 2016, 卷号: 52, 期号: 9
作者: Jirigalantu; X. Li; K. Liu; S. Zhang; Bayanheshig; X. Qi and Y. Tang
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| Structure design of nanometer positioning stage with a large stroke 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 5
作者: Chen, Q.
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| Design of the controller of the micro-positioning system for large diffraction grating ruling engine 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2015, 卷号: 36, 期号: 2, 页码: 473-480
作者: Mi, X.; H. Yu; J. Gao; H. Yu; S. Zhang and X. Qi
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| 菲索干涉仪移相器关键技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 毛石磊
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菲索干涉仪 移相器 微位移 柔性铰链 压电陶瓷 |
| 测绘相机标定转台结构系统关键技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2010
作者: 田学光
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| 超精密微位移导轨磁悬浮方法及其装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2005-08-17, 公开日期: 2005-08-17
发明人: 宋文荣; 何惠阳; 王延风; 于国飞; 查明
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| 磁悬浮微进给机构电磁场研究 期刊论文
电光与控制, 2004, 期号: 03, 页码: 23-25
作者: 杨秀华; 王延风; 卢志山
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Cad/cae 磁悬浮 直线电机 光刻机 有限元法 |
| 磁悬浮轴承式超精密微进给机构 (实用新型) 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2004-09-29, 公开日期: 2004-09-29
发明人: 宋文荣; 何惠阳; 于国飞; 王延风; 查明
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