Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 电铸金属光栅中金属沉积过程的在线监测 | |
| 朱春霖; 胡昊; 焦庆斌; 谭鑫; 巴音贺希格 | |
| 2019 | |
| 发表期刊 | 中国光学
 |
| 卷号 | 12期号:03页码:606-615 |
| 摘要 | 在使用电铸方法制作金属光栅时,采用传统的计时电铸方法常常不能保证金属栅条具有精确的沉积厚度。为了能够实时监测光栅栅条的沉积厚度,以实现电铸截止时刻的精确判断,建立了基于衍射效率判断金属沉积厚度的在线监测系统。采用严格耦合波理论计算了Au在光刻胶沟槽中进行沉积时,衍射效率随Au沉积厚度的变化规律,并讨论了光刻胶占宽比、电铸电流密度对衍射效率的影响;计算了电铸池、镀液对监测激光能量造成的损耗。实验得到的效率曲线与仿真结果相一致;电铸池、镀液对光能的损耗达94. 88%。实验结果表明,采用在线监测方法实时判断金属沉积厚度是合理有效的;光刻胶占宽比对在线监测影响不大;电铸电流密度对在线监测有影响,且电流密度越高越有利于截止点的判断。 |
| 关键词 | 金属光栅 在线监测 严格耦合波理论 占宽比 电流密度 能量损耗 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/63643 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱春霖,胡昊,焦庆斌,等. 电铸金属光栅中金属沉积过程的在线监测[J]. 中国光学,2019,12(03):606-615. |
| APA | 朱春霖,胡昊,焦庆斌,谭鑫,&巴音贺希格.(2019).电铸金属光栅中金属沉积过程的在线监测.中国光学,12(03),606-615. |
| MLA | 朱春霖,et al."电铸金属光栅中金属沉积过程的在线监测".中国光学 12.03(2019):606-615. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 电铸金属光栅中金属沉积过程的在线监测.c（5217KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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