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电铸金属光栅中金属沉积过程的在线监测 期刊论文
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 03, 页码: 606-615
作者:  朱春霖;  胡昊;  焦庆斌;  谭鑫;  巴音贺希格
caj(5217Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：124/31  |  提交时间：2020/08/24
金属光栅  在线监测  严格耦合波理论  占宽比  电流密度  能量损耗